台積電昨(10)日證實,已收到ASML投資邀請,正審慎評估參股可能性。設備商指出,台積電因應英特爾入股ASML,已備好3套劇本,包括也加入參股ASML、自行研發投入更先進技術、投資其他先進技術設備廠。業界研判,台積電若依英特爾模式參股ASML,應是擔心28奈米產能供不應求戲碼重演,若能透過參股ASML提升與關鍵設備廠合作關係,未來就不怕搶不到設備,在最短的時間擴充產能滿足客戶需求。
隨著半導體製程進入20奈米以下技術開發,掌握ASML微影技術的主控權,等於卡位先進製程的領導地位,台積電近幾年提高研發支出,有一大半比重放在微影技術開發。
業界認為,ASML是全球最大微影設備供應商,在稍早的65、40奈米技術時代,晶圓代工廠便礙於ASML產量有限,曝光機台交期長,即使「有錢也難買設備」,台積電若參股ASML,將可在關鍵機台取得優先採購權。
若不參股ASML,台積電也可能自行研發新微影技術。台積電過去曾由微製像技術發展處資深處長林本堅領軍,透過以水當介質,讓浸潤式顯影技術在90奈米使用的波長193奈米微影設備基礎,繼續往下延伸至65奈米技術使用。
台積電2004年1月啟用全世界第1台193奈米「浸潤式微影技術」 (Immersion Lithography)機台,就是以既有的ASML設備機台,輔以台積電自行研發的先進微影技術,帶領台積電一下子跳躍3個世代,跨入65奈米生產,奠定先進製程地位。第3種可能則是台積電轉而投資其他的技術先進公司,轉找其他合作夥伴,例如台積電2007年投資荷蘭新創公司Mapper,跨入無光罩微影技術,Mapper甚至派駐相關人員在台積電進行原型機台研發,仍然讓台積電在28奈米製程上掌握優勢,因此台積電也可能採取這類方式。
帆宣 家登 大贏家
英特爾大手筆入股ASML,強攻18吋晶圓,帶動相關設備商機大開,ASML在台合作夥伴帆宣,以及已獲英特爾資本 (Intel Capital)投資的18吋晶圓材料商家登,將為成最大贏家。
帆宣、家登近期營運走高,帆宣昨(10)日公布6月營收8.83億元,月增48.9%,攀上10個月來高峰。家登6月營收7,722萬元,月增7.57%;第2季營收2.09億元,創單季新高。ASML加快18吋晶圓布局,帆宣、家登營運後市看俏,激勵兩家公司昨天股價同步逆勢上漲逾2%。
帆宣近年積極布局半導體高階設備,已獲日立國際電氣半導體熱製程技術移轉,投入12吋熱製程機台設備製造,去年下半年開始出貨台積電,並與ASML有合作關係,在設備製造代工與代理皆有穩定發展。
18吋晶圓使用的曝光機台開發昂貴,市場預期,ASML獲得英特爾入股之後,開發18吋晶圓用曝光機台等周邊設備將如虎添翼,也將釋出部分代工訂單給台廠,帆宣與ASML合作良好,可望新增不少單價高、利潤好的業務,直接受惠。
家登獲英特爾資本投資後,成為台灣首家參與全球半導體設備及材料標準制定的領導廠商,不僅率先投入18吋晶圓載具、極紫外光光罩盒(EUV Pod)等市場,也獲英特爾、應用材料、ASML等國際大廠包下全年產能。家登指出,因應半導體業朝向18吋晶圓發展,該公司積極複製先前旗下光罩傳載產品市占第1的成功模式至晶圓傳載市場。
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